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應用於晶圓表面奈米微粒檢測的多方向偏振散射光量測儀:Goniometric Polarized Light-Scattering Instrument for Nanoparticles on Wafer Inspection
劉承揚 劉子安 傅尉恩 Liu, Chen-yang; Liu, Tze-an; Fu, Wei-en;
科儀新知
29:4=162 2008.02[民97.02]
頁78-84
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