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用於無阻障層之先進銅金屬化製程:Advanced Cu Barrierless Metallization
朱瑾 林宗新 余東原 Chu, P. Jinn; Lin, Chon-hsin; Yu, Dung-yuan;
真空科技
21:1/2 2008.06[民97.06]
頁28-36
TCI引用統計