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智能光學監控技術應用於自動化濺鍍系統:Application of Intelligent Optical Monitoring Technique on Automation Sputtering System
李孟錡 林育賢 王懷逸 郭倩丞 李正中 謝宗翰 陳友凡 蔡振源 楊宏河 林偉德
真空科技
32:2 2019.06[民108.06]
頁43-50
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