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題 名:
真空製程系統復機過程的真空品質監控--微矩陣殘餘氣體分析儀的運用:
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作者:
黃添榮
陳錦山
Tripp,C. A.;
- 書刊名:
真空科技
- 卷 期:
12:4 1999.12[民88.12]
- 頁 次:
頁27-35
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題 名:
殘留氣體分析儀(RGA)在IC製程之應用介紹:
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作者:
盧宏柏
- 書刊名:
真空科技
- 卷 期:
9:1 1996.04[民85.04]
- 頁 次:
頁21-26
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題 名:
臺灣光子源儲存環14米彎段鋁真空腔烘烤測試與其超高真空研究:Study of Ultra-High Vacuum System on the 14 m-long Aluminum Vacuum Chamber in Taiwan Photon Source Storage Ring
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作者:
吳怜慧
李宗諭
陳志瑋
楊易晨
林怡君
張育彬
黃春憲
黃英子
張嘉航
張鮮文
鄭家沐
陳柏穎
張進春
許憲能
詹哲鎧
鄭宇尊
薛心白
熊高鈺
陳俊榮
Wu, L. H.;
Lee, T. Y.;
Chen, Z. W.;
Yang, Y. C.;
Lin, Y. C.;
Chang, Y. P.;
Huang, C. S.;
Huang, Y. T.;
Chang, C. H.;
Chang, S. W.;
Cheng, C. M.;
Chen, B. Y.;
Chang, C. C.;
Hsu, S. N.;
Chan, C. K.;
Cheng, Y. T.;
Hsueh, H. P.;
Hsiung, G. Y.;
Chen, June-rong;
- 書刊名:
真空科技
- 卷 期:
27:1 2014.03[民103.03]
- 頁 次:
頁15-20
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題 名:
光釋放能譜臨場監控反應性濺鍍超親水氧化鈦薄膜之特性分析:
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作者:
李健志
魏敏芝
牛寰
陳錦山
- 書刊名:
真空科技
- 卷 期:
20:1 2007.10[民96.10]
- 頁 次:
頁36-43
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題 名:
光釋放能譜臨場監控反應性濺鍍氧化鈦薄膜之特性分析:
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作者:
李健志
魏敏芝
牛寰
陳錦山
- 書刊名:
真空科技
- 卷 期:
19:4 2007.04[民96.04]
- 頁 次:
頁35-39
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題 名:
微污染量測技術:Measurement Technology of Micro-contamination
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作者:
朱輝南
康弘
趙沛軒
Chu, Hui-nan;
Kang, Taner;
Chao, Vincent;
- 書刊名:
潔淨科技
- 卷 期:
33 2015.01[民104.01]
- 頁 次:
頁45-58
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