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題 名:
電漿輔助原子層沉積釕與氮化鉭薄膜製程研究:Ru and TaNx Thin Films Grown by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
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- 書刊名:
- 卷 期:
26:1 2013.03[民102.03]
- 頁 次:
頁21-26
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題 名:
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題 名:
原子層沉積系統設計與製作實務:Practical Design and Fabrication of Atomic Layer Deposition System
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
26:1 2013.03[民102.03]
- 頁 次:
頁6-12
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題 名:
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題 名:
原子層沉積系統與奈米結構鍍膜製程:Development of Atomic Layer Deposition and Nanostructured Coating Processes
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
25:2 2012.06[民101.06]
- 頁 次:
頁30-38
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
28:3 2015.09[民104.09]
- 頁 次:
頁5-9
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
29:1 2016.03[民105.03]
- 頁 次:
頁27-31
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
22:4 2009.12[民98.12]
- 頁 次:
頁39-44