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低光擾掃描電容顯微術在電性接面分析之應用:Characterization of Electrical Junctions by Low-photoperturbed Scanning Capacitance Microscopy
張茂男 陳志遠 萬文武 梁正宏 Chang, M. N.; Chen, C. Y.; Wan, W. W.; Liang, J. H.;
真空科技
17:4 2004.12[民93.12]
頁51-59
TCI引用統計