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以磁控濺鍍製備Si/CuSi雙層薄膜應用於藍光光碟之研究:Deposition of Si/CuSi Bilayer by Magnetron Sputtering and Its Applications in Blu-ray Disc
歐信良 郭博成 蔣東堯 高國陞 張漢豐 Ou, Sin-liang; Kuo, Po-cheng; Chiang, Donyau; Kao, Kuo-sheng; Chang, Han-feng;
真空科技
25:3 2012.09[民101.09]
頁15-21
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