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Anisotropic Stress Effect on Aluminum Doped Zinc Oxide Films Produced from In-Line Sputtering:直線式連續濺鍍製作氧化鋅摻鋁薄膜的非等向性應力效應
張慎周 洪上超 陳柏佑 林天財 Chang, Shang-chou; Hung, Shang-chao; Chen, Bo-you; Lin, Tien-chai;
真空科技
22:3 2009.09[民98.09]
頁27-31
TCI引用統計