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Effects of Oxygen in Reactive Ion-assisted Bipolar DC Mmagnetron Sputtering of Ta[feaf]O邚and SiO[feaf]Films:
Tsai,Rung-ywan; Chu,C. W.; Chen,T. S.; Chang,C. S.; Hung,Jung-chung;
真空科技
13:1 2000.03[民89.03]
頁25-32
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