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題 名:
氧化鋅薄膜原子層沉積之研究:ZnO Films Prepared by Atomic Layer Deposition
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作 者:
劉光璧
嚴國藝
龔志榮
蕭琦穎
楊竣雄
紀威旭
呂東原
林泰源
王慶鈞
李侃峰
黃振榮
梁沐旺
吳慶輝
羅展興
Liu, Kuang-pi;
Yen, Kuo-yi;
Gong, Jyh-rong;
Hsiao, Chi-ying;
Yang, Jing-hsung;
Chi, Wei-hsu;
Lyu, Dong-yuan;
Lin, Yai-yuan;
Wang, Ching-chiun;
Lee, Kang-feng;
Huang, Jen-rong;
Liang, Muh-wang;
Wu, Ching-huei;
Lo, Alfred;
- 書刊名:
真空科技
- 卷 期:
23:2 2010.06[民99.06]
- 頁 次:
頁56-61
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被引用次數:期刊(0) 博士論文(0) 專書(0) 專書論文(0)
排除自我引用:0
共同引用:0
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