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由電壓對電流現象決定磷化銦鎵/砷化鎵HBT之射極平臺蝕刻終點:
陳力民 廖森茂 蘇炎坤 魏上欽 王俊凱 王瑞祿 陳文章
真空科技
15:3 2002.09[民91.09]
頁51-53
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