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側向濕蝕刻應用於高亮度氮化鎵發光二極體:Side Wall Wet Etching Improves the Efficiency of Gallium Nitride Light Emitting Diodes
李仁智 陳彥任 朱富權 林瑞明 Li, Jen-chih; Chen, Yen Jen; Chu, Fu-chuan; Lin, Ray-ming;
真空科技
26:3 2013.09[民102.09]
頁17-26
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