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以射頻磁控式共濺鍍系統製作氧化鋅基薄膜電晶體之特性研究:Investigation of ZnO-based Thin Film Transistors Deposited by Radio Frequency Magnetron Co-sputtering System
李欣縈 林詠濠 謝文明 李清庭 Lee, Hsin-ying; Lin, Yong-hao; Shien, Wen-ming; Lee, Ching-ting;
真空科技
25:1 2012.03[民101.03]
頁40-46
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