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題 名:
ONO側壁與CESL對MOSFET通道應力影響之分析:The Effect of ONO Spacer and CESL on the Channel Stress of MOSFET Devices
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
25:3 2012.09[民101.09]
- 頁 次:
頁22-27
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題 名: