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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
4 2004.10[民93.10]
- 頁 次:
頁5-17
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題 名:
氣流中斷法原子層沉積系統對於薄膜品質的影響:The Flow Rate-interruption Atomic Layer Deposition System on Film Quality
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
34:4 2021.12[民110.12]
- 頁 次:
頁20
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題 名: