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1
淺談微影蝕刻技術:
陳啟東
物理雙月刊
21:4 1999.08[民88.08]
頁451-460
TCI引用統計
2
半導體表面低溫光蝕技術:
施明昌
16:5 1994.10[民83.10]
頁540-548