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簡單的光學突破3C科技瓶頸:浸潤式微影:Simple Optics Principles Overcomes the Bottleneck of 3C Technology: Immersion Lithography
林育詩 Lin, Yu-shih;
物理教育學刊
17:1 2016.08[民105.08]
頁29-34
TCI引用統計