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Investigation of Wet Etching with Surfactant Applied on the Releasing Process of Devices Fabricated by Surface Micro Machining:
Tsai, Chien-chung; Huang, Y-cheng; Lee, Chia-jung; Chien Chang, Chia-ching;
淡江理工學刊
10:2 2007.06[民96.06]
頁155-158
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