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1
光學散射量測半導體關鍵尺寸方法中之繞射效率計算:
陳盈佑 陳昱廷 李國華 郭鴻飛
機械月刊
39:6=455 2013.06[民102.06]
頁64-83
TCI引用統計
2
極紫外線散射儀:
顧逸霞
機械新刊
6 2017.05[民106.05]
頁86-94