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題 名:
多孔式噴灑頭對於CVD反應室內之流場影響研究:Effect of Showerhead on the Flow Field Distribution in CVD Reactor
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
363 2013.06[民102.06]
- 頁 次:
頁32-38
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題 名:
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題 名:
CVD腔體高溫流場影響研究:Investigation of Flow Patterns in High Temperature Chemical Vapor Deposition Reactor
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
387 2015.06[民104.06]
- 頁 次:
頁45-52
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題 名:
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題 名:
多孔式噴灑頭CVD腔體之流場可視化技術:Study of Showerhead CVD Reactor by Use of Flow Visualization Technology
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
375 2014.06[民103.06]
- 頁 次:
頁103-112
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
350 2012.05[民101.05]
- 頁 次:
頁26-33
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題 名:
MOCVD反應室內基板旋轉對流場之影響研究:Effect of Substrate Rotation on Flow Field Distribution in MOCVD Reactor
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
338 2011.05[民100.05]
- 頁 次:
頁154-160
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題 名:
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題 名:
低壓電漿顯影的流場可視化技術:Flow-field Visualization Technology for Low Pressure Plasma Discharge
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
435 2019.06[民108.06]
- 頁 次:
頁47-53
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題 名: