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樹脂結合鑽石砂輪精密輪磨加工矽晶圓表面性狀研究:
趙崇禮 張永明 馬廣仁 徐喜清 林宏裕 許瓊姿
機械工業
221 2001.08[民90.08]
頁87-101
TCI引用統計