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MOCVD之反應室模組研究:Studies of the MOCVD Reactor Module
黃智勇 王慶鈞 陳建志 林龔樑 簡榮楨 蔡陳德 曾力瑋 賴冠甫 劉耀先
機械工業
350 2012.05[民101.05]
頁26-33
TCI引用統計