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高硬度模組化懸臂式微機電探針製造技術:A Manufacturing Technologies of Modularized MEMS Cantilever Probe with High Hardness
高端環 黃悅真 周敏傑 張佑祥 黃萌祺
機械工業
483 2023.06[民112.06]
頁48-56
TCI引用統計