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IC載板電漿設備之電極模組設計與軟體開發:Electrode Module Design and Software Development for IC Substrate Plasma Equipment
林冠宇 莊聰暉 陳冠州 陳家銘 劉志宏
機械工業
498 2024.09[民113.09]
頁48-57
TCI引用統計