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基於粒子群最佳化之品質預測模型線上學習機制:A Particle Swarm Optimization Based Online Learning Mechanism for Quality Prediction Models: A Case Study on Thin-Film Thickness Prediction of Semiconductor Wafers
呂紹銘 劉益宏 周子勤
機械工業
316 2009.07[民98.07]
頁50-59
TCI引用統計