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以推論多項式網路預測晶圓表面不均勻度:Prediction of Nonuniformity on Wafer Surface Using an Abductive Polynomial Network
黃彥志 郭俊廷 林有鎰 邱傳聖 Huang, Yen-chih; Guo, Jyun-ting; Lin, Yeou-yih; Chiou, Chuan-sheng;
桃園創新學報
32 2012.12[民101.12]
頁73-92
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