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XRD Analysis of PZT Thin Films on Si Substrates by Rapid Thermal Annealing Processes:退火處理鋯鈦酸鉛薄膜於矽基板之X光繞射分析
張忠誠 黃嘉宏 Chang, C. C.; Hwang, C. H.;
材料科學
31:4 1999.12[民88.12]
頁220-225
TCI引用統計