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Investigation of Thermal SiO[feaf]-to-Si Bonding Interface for Irradiation-Hardness Silicon-On-Insulator (SOI) Substrate:探討抗輻射線絕緣矽基板之熱二氧化矽與矽的黏合界面
葉清發 呂昭宏 張寶心 高學武
材料科學
26:4 1994.12[民83.12]
頁267-273
TCI引用統計