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以反應性射頻磁控濺鍍法在PET基材上製備氮化鈦薄膜與特性分析:Preparation and Characterization of Titanium Nitride Thin Film Deposited on Polyethylene Terepthalate by Reactive Radio Frequency Magnetron Sputtering
林明志 張立信 Lin, M. C.; Chang, L. S.;
材料科學與工程
38:1 民95.03
頁56-60
TCI引用統計