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平面顯示器用鋁合金靶材鍍膜特性之研究:Characteristic of Sputtering Thin Film of Al Alloy Target for Liquid Crystal Display
陳家驊 黃信二 王漢能 李訓杰 葉建宏 Chen, C. H.; Huang, H. E.; Wang, H. N.; Lee, S. J.; Yeh, C. H.;
材料科學與工程
36:2 2004.06[民93.06]
頁79-85
TCI引用統計