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Researches on Design Simulation and Fabrication Process of Hafnium Oxide and Niobium Oxide Arrayed Waveguide Gratings:二氧化鉿與五氧化二鈮陣列波導光柵設計模擬與薄膜製程特性研究
吳承修 賴亦岑 李鵬霄 翁敏航 劉文仁 陳治民 賴暎杰 Wu, C. S.; Lai, Y. T.; Lee, P. H.; Weng, M. H.; Liu, W. J.; Chen, C. M.; Lai, Y. C.;
材料科學與工程
38:4 民95.12
頁228-234
TCI引用統計