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金屬閘極與多晶矽閘極在高介電常數閘極介電層N型金氧半場效電晶體之研究:Study on Metal Gate and Poly-Si Gate NMOSFET with High-k Dielectric Gate
陳啟文 黃厚智 陳穎達 賴信誠 葉文冠 陳育廷 Chen, Chii-wen; Huang, Hou-jhih; Chen, Ying-da; Lai, Hsin-cheng; Yeh, Wen-kuan; Chen, Yu-ting;
明新學報
35:1 2009.02[民98.02]
頁57-61
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