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輕摻汲極與袋型結構佈植濃度對超薄型矽覆蓋絕緣層元件特性影響之研究:Electrical Characteristics on Ultra Thin Body SOI Devices with Different LDD and Pocket Doping Concentration
陳啓文 張志源 朱建治 穆守駿 陳育廷 Chen, Chii-wen; Chang, Jhih-yuan; Chu, Chien-chih; Mu, Shou-chun; Chen, Yu-ting;
明新學報
42:1 2016.02[民105.02]
頁19-29
TCI引用統計