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題 名:
面形微加工技術製造設計微結構懸臂樑、空橋、圓形薄膜空室:Fabrication and Analysis of Surface Micromachining
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
19 民91.09
- 頁 次:
頁50-60
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
19 民91.09
- 頁 次:
頁61-71