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以射頻濺鍍法備製非晶形三氧化鎢薄膜及其感測特性之研究:A Study of the Sensitive Properties of Amorphous Tungsten Oxide Thin Films using an Rf-Sputtering System
周榮泉 江榮隆 Chou, Jung-chuan; Jiang, Rong-long;
技術學刊
13:3 1998.09[民87.09]
頁419-425
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