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題 名:
化學機械研磨製程之有限元素建模:Finite Element Modeling for Chemical Mechanical Polishing Process
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
17 2003.06[民92.06]
- 頁 次:
頁273-284
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
28 2015.01[民104.01]
- 頁 次:
頁31-40
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
26 2013.04[民102.04]
- 頁 次:
頁49-58
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
27 2014.01[民103.01]
- 頁 次:
頁13-22
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
27 2004.03[民93.03]
- 頁 次:
頁93-103
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
18 2004.06[民93.06]
- 頁 次:
頁295-302
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
25 2011.06[民100.06]
- 頁 次:
頁163-170
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題 名:
探討化學機械研磨之最適化製程參數:Investigations on Optimal Process Parameters in Chemical Mechanical Polishing
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
24 2010.08[民99.08]
- 頁 次:
頁423-431
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
14 民95.10
- 頁 次:
頁1-9
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題 名:
建立化學機械研磨製程之接觸有限元素模式:A Contact Finite Element Model in Chemical Mechanical Polishing Process
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
20 民95.06
- 頁 次:
頁309-318
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題 名:
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題 名:
化學機械研磨製程晶圓承載器最適表面形狀研究:Study on Optimal Carrier Morphology in Chemical Mechanical Polishing Process
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
21 2007.06[民96.06]
- 頁 次:
頁347-356
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
39 2019.12[民108.12]
- 頁 次:
頁37-42