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具應力隔絕結構的三軸壓阻式加速度感測器最佳化設計:
謝協伸 張恒中 胡志帆 鄭照霖 方維倫
微系統暨奈米科技協會會刊
28 2012.12[民101.12]
頁12-17
TCI引用統計