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以高功率脈衝磁控濺鍍方法探討鉭薄膜結晶β相與α相轉換行為與沉積參數之研究:
陳暐杰 游喬伊 王昭穎 林明澤
微系統暨奈米科技協會會刊
46 2021.12[民110.12]
頁16-24
TCI引用統計