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改善傳感間隙以增強活塞型CMOS-MEMS CMUT前端感測模組性能:
周俊宇 陳柏均 吳宏騰 徐子軒 李銘晃
微系統暨奈米科技協會會刊
46 2021.12[民110.12]
頁33-37
TCI引用統計