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運用熱致動壓阻感測振盪器實現高傳感效率之質量感測器:
劉廷淵 李昇憲 Liu, Ting-yuan; Chu, Chia-chun; Li, Ming-huang; Liu, Chun-you; Lo, Cheng-yao; Li, Sheng-shian; Li, Ming-huang; Chu, Chia-chun; Liu, Chun-you; Lo, Cheng-yao;
微系統暨奈米科技協會會刊
38 2017.12[民106.12]
頁25-30
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