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噴霧式光阻塗佈的新應用:
楊孟齊 Brubaker,C.; Wimplinger,M.; Lindner,P.; Kettner,P.; Pargfrieder,S.;
微系統暨奈米科技協會會刊
11 2004.06[民93.06]
頁93-98
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