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題 名:
專題計畫成果報導--單晶CVD薄膜和熔化成長法製程中之不穩定熱流與使其穩定之研究子--計畫三:薄膜單晶成長之垂直式CVD反應器內流動與熱傳之實驗研究(1)--實驗設備設計、製造與視流研究:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
29 1998.03[民87.03]
- 頁 次:
頁24-26
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
29 1998.03[民87.03]
- 頁 次:
頁27-30
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
88 民95.10
- 頁 次:
頁173-178