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題 名:
原子層沉積技術發展及其機能膜應用:The Development of Atomic Layer Deposition and Its Application on Functional Films
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- 書刊名:
- 卷 期:
337 2015.01[民104.01]
- 頁 次:
頁67-77
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題 名:
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題 名:
原子層沉積之前驅物技術:The Technology of Precursor for Atomic Layer Deposition
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
436 2023.04[民112.04]
- 頁 次:
頁42-50
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題 名: