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碳化矽晶圓製程與磊晶品質分析:Introduction to Fabrication and Quality Analysis of Silicon Carbide and Epitaxial Wafer
徐煜翔 余日浩 楊富程 Hsu, Y. H.; Yu, R. H.; Yang, Herry;
工業材料
441 2023.09[民112.09]
頁56-65
TCI引用統計