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題 名:
電磁場影響電漿成膜製程模擬之電漿粒子式模擬方法與應用:Particle-in-Cell Plasma Simulation Method and Application
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
232 民95.04
- 頁 次:
頁99-106
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題 名: