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非破壞性低溫多晶矽膜晶粒尺寸光學檢測技術研發:A Non-destructive Optical Diagnostic Technique for Measuring Grain Size of Polycrystalline Silicon Produced by Excimer Laser Crystallization
郭啟全 陳宏昱
工業材料
276 2009.12[民98.12]
頁164-173
TCI引用統計