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新穎的X-ray曝光技術在低介電常數薄膜直接圖形化之研究:
劉柏村 張鼎張 蔡宗鳴 陳紀文 許鉦宗 曾俊元
奈米通訊
10:2 2003.05[民92.05]
頁5-12
TCI引用統計