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奈米孔洞二氧化矽超低介電薄膜的電漿鍛燒及改質:
卓恩宗 蔡增光 楊家銘 吳柏偉 潘扶民 趙桂蓉
奈米通訊
9:4 2002.11[民91.11]
頁26-32
TCI引用統計