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由酸式及模板法製中孔洞型二氧化矽低介電薄膜材料:Preparation of Mesoporous Silica Low-K Films from Acid Solution by Templated Method
呂信諺 萬本儒
奈米通訊
16:1 2009.03[民98.03]
頁39-45
TCI引用統計