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題 名:
低溫微波退火應用於高介電薄膜/金屬閘極元件之研究:Study of High-k Metal-Gate by Low Temperature Microwave Annealing
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
20:3 2013.09[民102.09]
- 頁 次:
頁14-19
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題 名: